BN˼
ºñµî¹æ¼º(À̹漺) °í¿Â¼¼¶ó¹ÍÀ¸·Î¼ ±× Ư¼ºÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© Àü±âÀûÀ¸·Î´Â
³ôÀº ÀúÇ×¼ºÀ» ¶ì°ÔµÇ°í ¿Àüµµ¼ºÀº ¸Å¿ì ÁÁÀº ¹°¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ½À´Ï´Ù..
ÀÌ ºñȰ¼º,
ºñ ħÅõ¼º È¥ÇÕ¹°ÁúÀº ÇÕ¼º °úÁ¤ÀÇ Æ¯¼ºÀ¸·Î ¸Å¿ì ¼ø¼öÇÕ´Ï´Ù.(°í¿Â/Àú¾Ð
ÈÇÐÀû ±âÈ Ä§Àü)
PBN µµ°¡´ÏÀÇ
¿ëµµ¿Í Ư¼º Å©¸®½ºÅ»(°áÁ¤)
¼ºÀå ¿ëµµ-BN
µµ°¡´Ï¿Í º¸Æ®µîÀº ´Ù°áÁ¤ »óÅ¿¡¼ ´Ü °áÁ¤À¸·Î º¯È µÇ¾ú±â ¶§¹®¿¡
Å©¸®½ºÅ»¿ëÅÁÀ» ´ãÀ» ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ¶ÇÇÑ ¸Å¿î ³ôÀº ¼øµµ¿Í ÀÌ»óÀûÀÎ
¿ °ü·Ã Ư¼ºÀ¸·Î °áÁ¤¼ºÀå¿ë±â·Î »ç¿ëÇϱ⿡ Àû´çÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù..
BN (Boron Nitride)
ÀÇ ¹°¼º
Ç¥¸é
ºñÁß, gm/cc: |
1.95 –
2.22 |
Àå·Â, MPa (psi) |
40
(6000) |
ÈÚ
°æµµ, MPa (psi) |
80
(12,000) |
¿-Àüµµ¼º, W/m(¡É) ¡°ab¡± 60, ¡°c¡± 2 CTE, mm/mm/(¡É) (1000(¡É)
¡°ab¡± |
2 x
10-6 |
ÀúÇ×¼º,
ohm-cm |
1015 |
À¯Àü·Â, D.C. volts/mm |
2 x
105 |
À¯Àü
»ó¼ö ¡°ab¡± 5.2,¡°c¡± |
3.4 |
±Ý¼Ó
ºÒ¼ø¹° ÃÑ·®, ppm |
<10 |
°¡½ºÁ¦°Å |
¿µÇâ¾øÀ½ |
±ÇÀå
ÃÖ°í »ç¿ë¿Âµµ (¡É) |
2500 |
BNÀÇ °¡°øÀü ¹úÅ©
»óÅÂÀÇ ±Ùº»Àû ºÒ¼ø¹° Á¤µµ
Impurity |
ppm |
Na |
<2 |
Al
|
0.4 |
Si
|
3 |
Ca
|
3 |
Fe
|
0.2 |
ÃøÁ¤¹æ¹ý SSMS
(Spark Source Mass. Spec.) |
|
°ø±Þ
°¡´ÉÇÑ ±Ô°Ý ¹× °¡°Ý ( ³³±â ¹ßÁÖ ÈÄ 2-4ÁÖ)
°ø±Þ Ç¥ÁØ ±Ô°Ý
|
°¡°Ý
|
º¸À¯
Àç°í
|
¿Ü°æ26mm x ³ôÀÌ 26mm
|
550000¿ø/°³
|
0ea
|
¿Ü°æ 52mm
x ³ôÀÌ 104mm
|
1601000¿ø/°³
|
4ea
|
¿Ü°æ 18.9mm x ³ôÀÌ 78mm
|
500000¿ø/°³
|
0ea
|
¿Ü°æ 27mm x ³ôÀÌ 21mm
|
550000¿ø/°³
|
1 ea
|
¿Ü°æ 37.1mm x ³ôÀÌ 43mm
|
700000¿ø/°³
|
4ea
|
¿Ü°æ 37.5mm x ³ôÀÌ 50.5mm
|
730000¿ø/°³
|
4ea
|
¿Ü°æ 37.9mm x ³ôÀÌ 55mm
|
730000¿ø/°³
|
1ea
|
¿Ü°æ 38.2mm x ³ôÀÌ 54mm
|
730000¿ø/°³
|
0ea
|
ˤ
Ç¥ÁØ ±Ô°ÝǰÀº ¼ö·®ÇÒÀÎÀÌ
Àû¿ëµÇ´Â ǰ¸ñÀÔ´Ï´Ù
±âŸ
ÁÖ¹®ÀÚ ±Ô°Ý »ý»ê/°ø±Þ °¡´É ¹üÀ§ ¿Ü°æ 330mm±îÁö,
³ôÀÌ 500mm±îÁö °³º° °ßÀû¿äû ¹Ù¶ø´Ï´Ù
|
Ư¡°ú ÀÕÁ¡
- ¹«
µ¶¼º - °í
¼øµµ
-Àú
¹Ðµµ(°¡º¿ò)
- ÈÇÐÀûÀ¸·Î
ºñȰ¼º
-ºñ-ħÅõ¼º(±¸¸Û¾ø´Â
Á¶Á÷)
- ³ôÀº
À¯Àü·Â
-¿ì¼öÇÑ
¿ Àüµµ¼º
-
¿ÂµµÀÇ»ó½Â°ú
ÇÔ²² Àå·Âµµ »ó½Â
-
¿-Ãæ°Ý¿¡
¸Å¿ì °ÇÔ
-³ôÀº
»êÈ ÀúÇ×¼º
-ÀÚµ¿
µµÇÎ(È¥ÀÔ)ÇÏÁö ¾ÊÀ½
-Ź¿ùÇÑ
À̹漺
(Àü±â,¿ªÇÐ,¿)
ÀÌ PBN
µµ°¡´Ï´Â Ưº°È÷ ¿ºÐÇØ½Ä(Pyrolitic)À¸·Î Á¦À۵Ǹç, ±× °øÁ¤Àº ÇÑ ¸¶µð·Î ±âÈ Ä§ÀüÀ̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¾´Ï´Ù. ÀÌ ¹æ¹ýÀ̾ß
¸»·Î ÁúȺؼÒ(Boron Nitride)ÀÇ °áÁ¤È ¹æ½ÄÀ̶ó ÇÒ °ÍÀ̸ç, BN±âü¸¦ Èæ¿¬ ½É¼è(Mandrel)¿¡ ħÀü½ÃÄÑ ¾ò¾îÁø BN
ÆÄ¿ì´õ¸¦
¾ÐÃàÇÏ¿© ±â°è °¡°øÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î¼ ¾Ë¸¶¾²ÀÇ °ÅÀÇ ¸ðµç BNµµ°¡´Ï´Â
ÀÌ °øÁ¤À¸·Î Á¦À۵˴ϴÙ. ÀÌ °øÁ¤À¸·Î Á¦ÀÛµÈ BN
µµ°¡´ÏÀÇ °¡Àå Å« ÀÕÁ¡Àº ºñ-ħÅõ¼º Á¶Á÷À̶ó ÇϰڽÀ´Ï´Ù. °Å±â¿¡ ±¸¸ÛÀÌ ¾ø±â ¶§¹®¿¡
¹°ÁúÀÌ µé¾î°¡ ´Ã¾î ºÙÀ» ¼ö ¾ø´Â °ÍÀ̸ç, Ç¥ÁØ BN¿¡ ºñÇÏ¿©
´õ¿í ¼ø¼öÇϰí , ³»ÈÇмºµµ ¿ùµîÇÏ´Ù ÇϰڽÀ´Ï´Ù.
°áÁ¤¼ºÀå(Å©¸®½ºÅ»
±×·Î¾² - Crystal growth)¿ëµµ ¿Ü¿¡ 1600
CÀ̻󿡼 ¹«¼ö HF¸¦ °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀº BN»ÓÀ̱⿡ ¹«¼ö HFÀÇ ½á¸ðÄ«Çà º¸È£°üÀ¸·Îµµ
¸¹ÀÌ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù..
|